2023光刻机产业发展简析报告

光刻机是生产芯片的核心装备，被誉为半导体工业皇冠上的明珠。光刻机是一种投影曝光系统：光刻机由光源、照明系统、物镜、工件台等部件组装而成。在芯片制作中，光刻机会投射光束，穿过

印有图案的光掩膜版及光学镜片，将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上。

芯片制造过程需要用到的设备种类繁多，包括氧化炉、涂胶显影机在整个半导体芯片制造过程中，光刻是最复杂工艺，光刻工艺的费用约占芯片制造成本的1/3左右，耗费时间占比约为40-50%，

光刻工艺所需的光刻机是最贵的半导体设备。

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